BPG400 大氣壓至超高真空真空計

BPG400 大氣壓至超高真空真空計

INFICON貝阿德-阿爾珀特皮拉尼（Pirani）BPG400型復(fù)合真空計將兩種真空計的功能融合到一個緊湊的裝置中，測量范圍從5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）。多項技術(shù)相結(jié)合降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。選擇BPG400真空計，價格經(jīng)濟，且可重復(fù)測量基準(zhǔn)壓力。
益處

測量范圍非常廣，從 5×10-10 毫巴至大氣壓（3.8×10-10 托至大氣壓）

10-8 … 10-2 毫巴過程壓力范圍內(nèi) 5% 的優(yōu)良可重復(fù)性

皮拉尼聯(lián)鎖保護貝阿德-阿爾珀特系統(tǒng)在高壓操作下單絲過早燒毀和過度污染

使用壽命長的氧化釔銥絲

備有可選的圖形顯示屏和現(xiàn)場總線接口

高真空皮拉尼自動調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)

RoHS 合規(guī)

低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

典型應(yīng)用

對半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量

工業(yè)鍍膜

低真空和超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制
類型 BPG400

測量范圍（空氣、O2、CO、N2）      5×10-10 … 1000

精度

10-8 … 10-2 毫巴    % of reading    ±15

可重復(fù)性

10-8 … 10-2 毫巴    % of reading    5

除氣 (1)

p < 7.2 × 10-6 mbar    electron bombardment, max. 3 min

壓力，zui大   bar (absolute)  2

溫度

運行（環(huán)境） °C 0 … +50

貯存 °C -20 … +70

在法蘭處烘烤，有延伸件    °C 150

在法蘭處烘烤，無延伸件    °C 80

移除烘烤電子設(shè)備 °C 150

電源電壓     +20 … +28

輸出信號模擬

輸出信號 V   0 … +10

測量范圍 V   +0.774 … +10

電壓與壓強   volts per decade    0.75

錯誤信號 V   0.3 / 0.5

zui小負(fù)載電阻 k?  10

接口（數(shù)字）(2)      RS232C

電氣連接     D-Sub, 15-pin, male

電纜長度，zui大 (3)   m (ft.) 100 (330)

暴露于真空的材料     Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass

內(nèi)部容積 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)

重量 KF / CF g   285 / 550

保護等級     IP30

Profibus DP

波特率      9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500

地址    2 switches (address 00 - 127) or network programmable

數(shù)字功能     read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模擬功能     0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

設(shè)定點繼電器： 設(shè)定點數(shù)量     2

設(shè)定點繼電器： 范圍  mbar    1×10-9 … 100

設(shè)定點繼電器： 繼電器觸點     n.o., potential free

設(shè)定點繼電器： 滯后  % of reading    10

設(shè)定點繼電器： 觸點額定值     60

Profibus DP 連接器       D-Sub, 9-pin, female

BPG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點）連接器        D-Sub, 15-pin, male

DeviceNet™ 

協(xié)議    DeviceNet™, group 2 slave only

數(shù)據(jù)率開關(guān)   kBaud   125, 250, 500 or network programmable

電纜長度 125 kbps    m (ft.) 500 (1650)

電纜長度 250 kbps    m (ft.) 250 (825)

電纜長度 500 kbps    m (ft.) 100 (330)

MAC ID      2 switches (address 00 - 63) or network programmable

數(shù)字功能     read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information

模擬功能     0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B

技術(shù)規(guī)格     DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"

設(shè)備類型     ''CG'' for combination gauge

I / O 從屬傳訊       polling only

設(shè)定點繼電器： 設(shè)定點數(shù)量     2

設(shè)定點繼電器： 范圍  mbar    1×10-9 … 100

設(shè)定點繼電器： 繼電器觸點     n.o., potential free

設(shè)定點繼電器： 滯后  % of reading    10

設(shè)定點繼電器： 觸點額定值     60

DeviceNet™ 電源電壓      +11 … +25

真空計電源電壓       +20 … +28

DeviceNet™ 連接器        Microstyle, 5-pin

BPG（模擬輸出、電源電壓、設(shè)定點）連接器        D-Sub, 15-pin, male

1) 除氣期間降低精度

2) 同時使用 RS232C 或 VGC40x 控制器系列，不允許使用現(xiàn)場總線

3) 適用于 RS232C 運行 <30m
353-500 BPG400 規(guī)管

353-500-11  BPG400 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF

353-500-I0  BPG400規(guī)管

353-502-A   BPG400規(guī)管

354-498 Spare electronic BPG400 without Display

354-499 Spare electronic BPG400 with Display

353-501 BPG400 規(guī)管

353-502 BPG400 規(guī)管

353-503 BPG400 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

353-505 復(fù)合真空規(guī)

353-506 BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R

353-507 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF

353-508 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R